Marso, Michel ;
nstitut für Halbleitertechnik, Sommerfeldstraße, D-5100 Aachen, Germany Zwinge, G.; nstitut für Halbleitertechnik, Sommerfeldstraße, D-5100 Aachen, Germany
Grützmacher, D.; nstitut für Halbleitertechnik, Sommerfeldstraße, D-5100 Aachen, Germany
Hergeth, J.; nstitut für Halbleitertechnik, Sommerfeldstraße, D-5100 Aachen, Germany
Beneking, H.; nstitut für Halbleitertechnik, Sommerfeldstraße, D-5100 Aachen, Germany